Beschichtungsanlagen.

axplorer - the ultimate material screening tool.

Intelligente Schichtentwicklung mit dem kompakten Anlagensystem
axplorer.

Das axplorer – System ist eine kompakte, integrierte Vakuumbeschichtungsanlage konzipiert für den F&E – Bereich, um schnell, effektiv und kostengünstig Materialscreenings und Schichtentwicklungen durchzuführen. Die Möglichkeit effiziente Schichtentwicklungen durchzuführen, erlaubt es Ihnen in den unterschiedlichsten Anwendungsfeldern Ihre Produkte mit Schichtsystemen auszustatten und für Ihre Anforderungen individuell anzupassen: egal, ob es um eine umweltgerechte Einsparung von Energieressourcen im Automobilbau durch reibarme und verschleißfeste Oberflächen der Motoren- und Getriebekomponenten oder um langzeitstabile Gelenkimplantate für die Medizintechnik geht, ob es um optische oder magnetische Speichermedien in der Halbleiterindustrie oder um neuartige Sensoren für extreme Einsatzbedingungen geht. Durch die hohe Flexibilität des axplorer – Systems stehen Ihnen alle Materialklassen und deren Kombinationen für Ihre Schichtentwicklung offen.

axplorer.

Ihr Zugang zum rapid protocoating.

axplorer S.

PVD inhouse.

Das axplorer S – System ist eine kompakte, individuell an Ihre Anforderungen angepasste Vakuumbeschichtungsanlage für die Kleinserienproduktion, basierend auf PLD- und Sputterquellen. Diese kleine kostengünstige Beschichtungsanlage ermöglicht Ihnen die wirtschaftliche Beschichtung von Bauteilen mit kleinen Jahresstückzahlen in Ihrem Hause unabhängig von den Lieferzeiten externer Lohnbeschichter.

Eigenschaften axplorer S

Kammer mit großer Beladungstür

Substratgrößen bis 6″

Vakuumkomponenten inkl. Pumpstand und Druckmesszellen

Quellen: PLD / Sputter / Plasma

PLD: Excimer Laser + Optik + Targetwechsler

Prozessgase nach Wunsch

Medienanschlüsse

Vollautomatische SPS Steuerung

geringer Footprint

optional: Heizer / Prozesse / Fernwartung

pulsed laser deposition PLD

the most flexible PVD.

Bei der gepulsten Laserablation (pulsed laser deposition, PLD) wird hochenergetisches und kurzwelliges (UV) Licht eingesetzt, um das Ausgangsmaterial (Feststofftarget) in die Gasphase und darüber in Form einer Schicht auf das zu beschichtende Werkstück (Substrat) zu bringen. Damit zählt die Laserablation auch zur Klasse der physikalischen Gasphasen-Beschichtungsverfahren (PVD-Verfahren). Der Einsatz von Lasern in der Beschichtungstechnik bietet dabei eine Vielzahl von Vorteilen gegenüber den klassischen PVD-Verfahren (Verdampfen, Sputtern) und profitiert auch von der Weiterentwicklung der UV-Lasertechnologie in den vergangenen 10 Jahren. Dadurch stehen mittlerweile hohe Laserenergien (bis 1 J/Puls) und Repetitionsraten (bis 300 Hz) für eine Schichtabscheidung in Entwicklung und Produktion zur Verfügung.

Eigenschaften PLD

höchste Flexibilität bei Beschichtungsmaterialien

Deposition komplexer Materialien möglich

geringe Temperaturen – ab Raumtemperatur

Multischichtsysteme möglich

hohe Targetausbeute

kostengünstige Targets

Materialabtrag abseits thermodynamischen Gleichgewichts

hohe Prozessreinheit

umweltfreundliches Verfahren

Reaktivgas und Inertgas Prozesse

PLD Beschichtungsmaterialien

HTSL
Ferro-/Piezo-/Dielektrika
CMR-Materialien
Optische/ Elektrooptische Materialien
Biokompatible Materialien

Kohlenstoffschichten Hartstoffschichten
tribologische Schichten Nanokomposite

Fluor-Polymere
hochdichte Polymere

Granate
Spinell

III-V Halbleiter
II-VI Halbleiter

Edelmetalle
Metalle / Legierungen

plasmaIMPAX ®

the new plasma technology.

Das innovative und patentierte plasmaimpax-Verfahren verwendet hochenergetische Teilchen und eine Hochspannungspulstechnik zur 3-dimensionalen Modifizierung und Beschichtung der Oberflächen von Komponenten und Werkzeugen. Um die Oberflächenhärte sowie Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit zu steigern oder Oberflächen biokompatibel zu gestalten, können mit dieser umweltfreundlichen Technik Ionenimplantationsprozesse sowie ionenunterstützte Beschichtungsprozesse durchgeführt werden. Im Gegensatz zu konventionellen Beschichtungsverfahren sind dabei bereits geringere Beschichtungstemperaturen ausreichend um Schichtabscheidung und Oberflächenmodifizierung erfolgreich anzuwenden. Dies schont die Bauteile und ermöglicht auch eine Beschichtung von temperatursensitiven Materialien ohne Veränderung ihrer Form oder ihrer mechanischen Eigenschaften.
Anwendung findet das plasmaimpax Verfahren in unseren Beschichtungsanlagen der IMPAX Reihe. Eine Übersicht über die Prozessmöglichkeiten zeigt die Flexibilität und Vielfalt eines plasmaimpax-Systems:

Reinigung und Ätzen:

Entfernung von Adsorbaten und Oberflächenoxiden (reaktiv, ballistisch)

Aktivierung und Funktionalisierung:

elektronische und chemische Anregung sowie Abscheidung von Molekülen

Oberflächenmodifizierung durch Implantation

Phasenbildung und „Ionenschmieden“

Beschichtung

Abscheidung von funktionellen und dekorativen Beschichtungen mit Ionenunterstützung (z.B. DLC)

Eigenschaften plasmaIMPAX

geringe Beschichtungstemperaturen

dreidimensionaler Prozess

sehr gute Homogenität

sehr gute Reproduzierbarkeit

hohe Prozessreinheit

hohe Depositionsraten

hohe Prozessflexibilität

umweltfreundliches Verfahren

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