axplorer - the ultimate material screening tool

 

 

PVD Anlage Entwicklung

 

Intelligente Schichtentwicklung mit dem kompakten Anlagensystem axplorer.

Das axplorer – System ist eine kompakte, integrierte Vakuumbeschichtungsanlage konzipiert für den F&E - Bereich, um schnell, effektiv und kostengünstig Materialscreenings und Schichtentwicklungen durchzuführen. Die Möglichkeit effiziente Schichtentwicklungen durchzuführen, erlaubt es Ihnen in den unterschiedlichsten Anwendungsfeldern Ihre Produkte mit Schichtsystemen auszustatten und für Ihre Anforderungen individuell anzupassen: egal, ob es um eine umweltgerechte Einsparung von Energieressourcen im Automobilbau durch reibarme und verschleißfeste Oberflächen der Motoren- und Getriebekomponenten oder um langzeitstabile Gelenkimplantate für die Medizintechnik geht, ob es um optische oder magnetische Speichermedien in der Halbleiterindustrie oder um neuartige Sensoren für extreme Einsatzbedingungen geht. Durch die hohe Flexibilität des axplorer – Systems stehen Ihnen alle Materialklassen und deren Kombinationen für Ihre Schichtentwicklung offen.

axplorer – Ihr Zugang zum „Rapid Protocoating“.

 

 

Eigenschaften axplorer

 

  • Beschichtungskammer: 500 x 500 x 500 mm³ mit großer Beladungstür
  • Substratgrößen: 1" – 6"

  • Vakuumkomponenten: ölfreier Pumpstand inkl. Druckmesszellen

  • Beschichtungsquellen: PLD-, Sputter-, und/oder Plasma-Modul

  • PLD-Modul bestehend aus:
    - Excimer Laser
    - Optische Komponenten
    - Gekapselter Strahlengang
    - Targetwechlsersystem (max. 6 Targets)

  • Anzahl der Prozessgase nach Kundenwunsch

  • Automatisierung: SPS-Steuerung zur vollständig automatisierten Prozessführung inkl. Archivierung aller Prozessdaten und -werte
  • Schaltschrank im Gehäuse integriert

  • Medienanschlüsse

  • Standfläche des Gesamtsystems: ca. 1m x 2m

  • optional: elektropolierte Innenwände

  • optional: Heizersystem inklusive Temperatursensoren

  • optional: Flansche für kundenseitige in-situ Analytik

  • optional: Netzwerk-Anschluss für Fernwartung