axplorer S - das kompakte PVD-System für die Kleinserie

 

 

axplorer, PVD Beschichtung, Sputtern   Das axplorer S – System ist eine kompakte, individuell an Ihre Anforderungen angepasste Vakuumbeschichtungsanlage für die Kleinserienproduktion, basierend auf PLD- und Sputterquellen. Diese kleine kostengünstige Beschichtungsanlage ermöglicht Ihnen die wirtschaftliche Beschichtung von Bauteilen mit kleinen Jahresstückzahlen in Ihrem Hause unabhängig von den Lieferzeiten externer Lohnbeschichter.

 

Eigenschaften axplorer S

 

  • Beschichtungskammer: ca. 600 x 600 x 600 mm³ mit großer Beladungstür

  • Vakuumkomponenten: ölfreier Pumpstand inkl. Druckmesszellen

  • Beschichtungsquellen: PLD-, Sputter-, und/oder Plasma-Modul

  • Substrataufnahme: individuell an Kundenbauteile
    angepasst (z.B. Handlingssystem, Probenmodulator)
  • Anzahl der Prozessgase nach Kundenwunsch bzw. geplanten Schichtsystemen
  • Automatisierung: SPS-Steuerung zur vollständig automatisierten
    Prozessführung inkl. Archivierung aller Prozessdaten und –werte für interne Qualitätssicherung
  • Schaltschrank mit allen Stromversorgungseinheiten, Ein- und Ausgabe-Baugruppen,
    sowie Sicherheitseinrichtungen im Gehäuse integriert
  • Medienanschlüsse
  • Standfläche des Gesamtsystems: ca. 1m x 2,5m
  • optional: Beschichtungsprozesse
  • optional: Heizersystem, angepasst an Bauteilgröße, inkl. Temperatursensoren
  • optional: elektropolierte Innenwände
  • optional: Netzwerk-Anschluss für Fernwartung