impax-1000  -  das plasmagestützte System für die Serie

 

 

 

AxynTeC, plasmaimpax, impax, PVD Beschichtungsanlage  

Das Anlagensystem Impax-1000 ist ausgelegt um metallische Bauteile in der Serie mit Verschleißschutzschichten beispielsweise auf Basis von Diamantähnlichem Kohlenstoff (DLC) zu beschichten. Die dabei verwendete umweltfreundliche Prozesstechnologie Plasmaimpax verwendet ein gepulstes, hochenergetisches Plasma um dreidimensionale Bauteile homogen zu beschichten. Die Prozesstemperaturen können dabei bereits unter 200 °C liegen, was ein breites Materialspektrum zugänglich macht.

Die impax-1000 umfasst ein Kammervolumen von 1 m³ und ist in der Grundversion mit zwei Plasmaquellen ausgestattet. Damit können neben Beschichtungsprozessen auch Ionenimplantationsprozesse gefahren werden.

 

 

Eigenschaften impax-1000

 

  • Edelstahlrezipient, Volumen 1 m³, große Beladungstür

  • Rezipient wassergekühlt

  • Beschichtungsvolumen ca. 800 x 800 mm²

  • 4 Adapterflansche zur Quellenbestückung

  • Strahlungsheizermodule

  • Stromversorgungseinheiten, Schaltschrank
  • Vakuumerzeugung, -messung und -regelung
  • Gasversorgungseinheiten
  • vollautomatisierte Prozessführung
  • Prozesstechnologien