laserdeposition - the most flexible pvd - technology.

 

AxynTeC, PLD, pulsed laser deposition, Laserdeposition, PVD Beschichtung

 

Bei der gepulsten Laserablation (pulsed laser deposition, PLD) wird hochenergetisches und kurzwelliges (UV) Licht eingesetzt, um das Ausgangsmaterial (Feststofftarget) in die Gasphase und darüber in Form einer Schicht auf das zu beschichtende Werkstück (Substrat) zu bringen. Damit zählt die Laserablation auch zur Klasse der physikalischen Gasphasen-Beschichtungsverfahren (PVD-Verfahren).

Der Einsatz von Lasern in der Beschichtungstechnik bietet dabei eine Vielzahl von Vorteilen gegenüber den klassischen PVD-Verfahren (Verdampfen, Sputtern) und profitiert auch von der Weiterentwicklung der UV-Lasertechnologie in den vergangenen 10 Jahren. Dadurch stehen mittlerweile hohe Laserenergien (bis 1 J/Puls) und Repetitionsraten (bis 300 Hz) für eine Schichtabscheidung in Entwicklung und Produktion zur Verfügung.

Eigenschaften

  • höchste Flexibilität hinsichtlich der Beschichtungsmaterialien
  • auch komplexe Materialzusammensetzungen beschichtbar
  • geringe Beschichtungstemperaturen: ab Raumtemperatur
  • Realisierung von Multischichtsystemen
  • hohe Targetausbeute
  • kleine, kostengünstige Targets 
  • Materialabtrag jenseits des thermodynamischen Gleichgewichts
  • hohe Prozessreinheit
  • umweltfreundliches Verfahren
  • Reaktiv- und Inertgasprozesse

PLD - Beschichtungsmaterialien