plasmaimpax ® - the new plasma technology.

 

AxynTeC, plasmaimpax, PVD Beschichtung

 

Das innovative plasmaimpax-Verfahren verwendet hochenergetische Teilchen und eine Hochspannungspulstechnik zur 3-dimensionalen Modifizierung und Beschichtung der Oberflächen von Komponenten und Werkzeugen. Um die Oberflächenhärte sowie Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit zu steigern oder Oberflächen biokompatibel zu gestalten, können mit dieser umweltfreundlichen Technik Ionenimplantationsprozesse sowie ionenunterstützte Beschichtungsprozesse durchgeführt werden. Im Gegensatz zu konventionellen Beschichtungsverfahren sind dabei bereits geringere Beschichtungstemperaturen ausreichend um Schichtabscheidung und Oberflächenmodifizierung erfolgreich anzuwenden. Dies schont die Bauteile und ermöglicht auch eine Beschichtung von temperatursensitiven Materialien ohne Veränderung ihrer Form oder ihrer mechanischen Eigenschaften. Eine Übersicht über die Prozessmöglichkeiten zeigt die Flexibilität und Vielfalt eines plasmaimpax-Systems:

  • Reinigung und Ätzen:
    Entfernung von Adsorbaten und Oberflächenoxiden (reaktiv, ballistisch)
  • Aktivierung und Funktionalisierung:
    elektronische und chemische Anregung sowie Abscheidung von Molekülen
  • Oberflächenmodifizierung durch Implantation
    Phasenbildung und „Ionenschmieden“
  • Beschichtung
    Abscheidung von funktionellen und dekorativen Beschichtungen mit Ionenunterstützung (z.B. DLC)

Eigenschaften plasmaimpax

  • geringe Beschichtungstemperaturen: je nach Prozess < 150 °C, < 250 °C, oder < 400 °C
  • dreidimensionaler Beschichtungsprozess
  • sehr gute Homogenität
  • hohe Prozessreinheit
  • sehr gute Reproduzierbarkeit
  • hohe Depositionsraten
  • umweltfreundliches Verfahren
  • hohe Prozessflexibilität